高濃度含氟化物廢氣通過兩級換熱之后，達到一定溫度后經過to直燃爐進行高溫氧化，產生氟化氫等廢氣，氟化氫有極強腐蝕性，所以TO爐需要做好防腐蝕性工作，本公司選擇強大的耐腐蝕材料作為澆鑄料，分兩次澆鑄完成，達到高強度、高耐腐蝕的效果，保證后期設備的使用壽命；廢氣經過1000℃的高溫氧化后，再次進入兩級換熱，與進氣的低溫廢氣進行冷熱交換后經過急冷塔，在急冷塔的作用下，溫度降至常溫，常溫的廢氣經過兩級堿洗，達到酸堿中和，達標的中性廢氣通過煙囪排入大氣。另外控制系統(tǒng)上：設備采用多監(jiān)控點位監(jiān)控，可通過手機端等終端設備在線查看設備使用狀態(tài)，控制系統(tǒng)內部采用以太網通訊方式，PLC與觸摸屏、上位機等采用以太網通訊方式，廢氣治理設備也可以通過以太網與廠內其他系統(tǒng)進行通訊和數據交換，且TO前設置LEL在線檢測裝置（檢測精度±5% F.S）和VOCs濃度傳感器，控制廢氣進入TO的濃度＜25%LEL， 設置二級報警點，達到一級報警點提示系統(tǒng)檢查，當達到二級報警點時，連鎖控制開啟新鮮空氣閥，當報警持續(xù)20s時，系統(tǒng)緊急停車。