高濃度含氟化物廢氣通過兩級(jí)換熱之后，達(dá)到一定溫度后經(jīng)過to直燃爐進(jìn)行高溫氧化，產(chǎn)生氟化氫等廢氣，氟化氫有極強(qiáng)腐蝕性，所以TO爐需要做好防腐蝕性工作，本公司選擇強(qiáng)大的耐腐蝕材料作為澆鑄料，分兩次澆鑄完成，達(dá)到高強(qiáng)度、高耐腐蝕的效果，保證后期設(shè)備的使用壽命；廢氣經(jīng)過1000℃的高溫氧化后，再次進(jìn)入兩級(jí)換熱，與進(jìn)氣的低溫廢氣進(jìn)行冷熱交換后經(jīng)過急冷塔，在急冷塔的作用下，溫度降至常溫，常溫的廢氣經(jīng)過兩級(jí)堿洗，達(dá)到酸堿中和，達(dá)標(biāo)的中性廢氣通過煙囪排入大氣。另外控制系統(tǒng)上：設(shè)備采用多監(jiān)控點(diǎn)位監(jiān)控，可通過手機(jī)端等終端設(shè)備在線查看設(shè)備使用狀態(tài)，控制系統(tǒng)內(nèi)部采用以太網(wǎng)通訊方式，PLC與觸摸屏、上位機(jī)等采用以太網(wǎng)通訊方式，廢氣治理設(shè)備也可以通過以太網(wǎng)與廠內(nèi)其他系統(tǒng)進(jìn)行通訊和數(shù)據(jù)交換，且TO前設(shè)置LEL在線檢測(cè)裝置（檢測(cè)精度±5% F.S）和VOCs濃度傳感器，控制廢氣進(jìn)入TO的濃度＜25%LEL， 設(shè)置二級(jí)報(bào)警點(diǎn)，達(dá)到一級(jí)報(bào)警點(diǎn)提示系統(tǒng)檢查，當(dāng)達(dá)到二級(jí)報(bào)警點(diǎn)時(shí)，連鎖控制開啟新鮮空氣閥，當(dāng)報(bào)警持續(xù)20s時(shí)，系統(tǒng)緊急停車。